אַפּליקאַציע פון ​​הויך-ריינקייט גאַז פּייפּליינז אין עלעקטראָנישע אינזשעניריע סיסטעמען

די 909 פּראָיעקט זייער גרויסע אינטעגרירטע קרייז פאַבריק איז אַ הויפּט קאַנסטרוקציע פּראָיעקט פון מיין לאַנד'ס עלעקטראָניק אינדוסטריע בעשאַס דעם ניינטער פינף-יאָר פּלאַן צו פּראָדוצירן טשיפּס מיט אַ ליניע ברייט פון 0.18 מיקראָן און אַ דיאַמעטער פון 200 מם.

די פאבריקאציע טעכנאלאגיע פון ​​זייער גרויסע אינטעגרירטע קרייזן נעמט נישט נאר אריין הויך-גענויקייט טעכנאלאגיעס ווי מיקרא-מאשינינג, נאר שטעלט אויך הויכע פארלאנגען אויף גאז ריינקייט.
די גרויסע גאז צושטעל פאר פראיעקט 909 ווערט צוגעשטעלט דורך א דזשוינט ווענטשער צווישן פּראַקסאַיר יוטיליטי גאַז קאָו., לטד. פון די פאראייניגטע שטאטן און באטרעפנדע פארטייען אין שאַנגהאַי צו געמיינזאַם אויפשטעלן א גאַז פּראָדוקציע פאַבריק. די גאַז פּראָדוקציע פאַבריק איז לעבן דעם 909 פּראָיעקט פאַבריק געביידע, און דעקט א שטח פון בערך 15,000 קוואַדראַט מעטער. די ריינקייט און פּראָדוקציע באדערפענישן פון פארשידענע גאַזן.

הויך-ריינהייט שטיקשטאָף (PN2), שטיקשטאָף (N2), און הויך-ריינהייט זויערשטאָף (PO2) ווערן פּראָדוצירט דורך לופט צעשיידונג. הויך-ריינהייט וואַסערשטאָף (PH2) ווערט פּראָדוצירט דורך עלעקטראָליז. אַרגאָן (Ar) און העליום (He) ווערן געקויפט אויססאָורסט. דער קוואַזי-גאַז ווערט פּיוראַפייד און פֿילטרירט פֿאַר נוצן אין פּראָיעקט 909. ספּעציעלער גאַז ווערט צוגעשטעלט אין פֿלעשער, און דער גאַז פֿלעשער קאַבינעט געפינט זיך אין דער הילפֿס-וואַרשטאַט פֿון דער אינטעגרירטער קרייז פּראָדוקציע פאַבריק.
אַנדערע גאַזן אַרייַננעמען אויך ריין טרוקענע קאַמפּרעסט לופט CDA סיסטעם, מיט אַ נוצן באַנד פון 4185m3/h, אַ דרוק טוי פונקט פון -70°C, און אַ פּאַרטיקל גרייס פון נישט מער ווי 0.01um אין די גאַז ביי די פונקט פון נוצן. אָטעמענדיק קאַמפּרעסט לופט (BA) סיסטעם, נוצן באַנד 90m3/h, דרוק טוי פונקט 2℃, פּאַרטיקל גרייס אין די גאַז ביי די פונקט פון נוצן איז נישט גרעסער ווי 0.3um, פּראָצעס וואַקוום (PV) סיסטעם, נוצן באַנד 582m3/h, וואַקוום גראַד ביי די פונקט פון נוצן -79993Pa. רייניקונג וואַקוום (HV) סיסטעם, נוצן באַנד 1440m3/h, וואַקוום גראַד ביי די פונקט פון נוצן -59995 Pa. די לופט קאַמפּרעסער צימער און וואַקוום פּאָמפּע צימער זענען ביידע ליגן אין די 909 פּראָיעקט פאַבריק געגנט.

אויסוואל פון רער מאַטעריאַלן און אַקסעסאָריעס
דער גאַז וואָס ווערט גענוצט אין VLSI פּראָדוקציע האָט גאָר הויכע ריינקייט רעקווייערמענץ.הויך-ריינקייט גאַז פּייפּליינזווערן געוויינטלעך גענוצט אין ריינע פּראָדוקציע סביבות, און זייער ריינקייט קאָנטראָל זאָל זיין קאָנסיסטענט מיט אָדער העכער ווי די ריינקייט מדרגה פון די פּלאַץ אין נוצן! אין דערצו, הויך-ריינקייט גאַז פּייפּליינז זענען אָפט גענוצט אין ריינע פּראָדוקציע סביבות. ריין וואַסערשטאָף (PH2), הויך-ריינקייט זויערשטאָף (PO2) און עטלעכע ספּעציעלע גאַזן זענען ברענעוודיק, עקספּלאָזיוו, ברענעניש-שטיצנדיק אָדער טאַקסיק גאַזן. אויב די גאַז פּייפּליין סיסטעם איז נישט ריכטיק דיזיינד אָדער די מאַטעריאַלס זענען נישט ריכטיק אויסגעקליבן, ניט בלויז וועט די ריינקייט פון די גאַז געניצט בייַ די גאַז פונט פאַרמינערן, אָבער עס וועט אויך דורכפאַלן. עס טרעפט די פּראָצעס רעקווירעמענץ, אָבער עס איז נישט זיכער צו נוצן און וועט פאַרשאַפן פאַרפּעסטיקונג צו די ריין פאַבריק, אַפעקטינג די זיכערקייט און ריינקייט פון די ריין פאַבריק.
די גאַראַנטיע פֿון דער קוואַליטעט פֿון הויך-ריינקייט גאַז בײַם באַניץ-פונקט איז נישט נאָר אָפּהענגיק פֿון דער גענויקייט פֿון גאַז-פּראָדוקציע, רייניקונג-עקוויפּמענט און פֿילטערס, נאָר ווערט אויך אין אַ גרויסער מאָס באַאײַנפֿלוסט פֿון פֿיל פֿאַקטאָרן אין דער רער-ליניע סיסטעם. אויב מיר פֿאַרלאָזן זיך אויף גאַז-פּראָדוקציע-עקוויפּמענט, רייניקונג-עקוויפּמענט און פֿילטערס, איז עס פשוט נישט ריכטיק צו שטעלן אומענדלעך העכערע פּינקטלעכקייט-פֿאָרדערונגען צו קאָמפּענסירן פֿאַר נישט ריכטיקן גאַז-רער-סיסטעם-פּלאַן אָדער מאַטעריאַל-אויסוואַל.
בעת דעם פּלאַנירונג פּראָצעס פֿון דעם 909 פּראָיעקט, האָבן מיר נאָכגעפֿאָלגט דעם "קאָד פֿאַר פּלאַנירונג פֿון ריינע פֿאַבריקן" GBJ73-84 (דער איצטיקער סטאַנדאַרט איז (GB50073-2001)), "קאָד פֿאַר פּלאַנירונג פֿון קאָמפּרעסירטע לופֿט סטאַנציעס" GBJ29-90, "קאָד פֿאַר פּלאַנירונג פֿון זויערשטאָף סטאַנציעס" GB50030-91, "קאָד פֿאַר פּלאַנירונג פֿון הידראָגען און זויערשטאָף סטאַנציעס" GB50177-93, און באַטייַטיקע טעכנישע מיטלען פֿאַר דער אויסוואַל פֿון רערנ-ליניע מאַטעריאַלן און אַקסעסאָריעס. "קאָד פֿאַר פּלאַנירונג פֿון ריינע פֿאַבריקן" באַשטימט די אויסוואַל פֿון רערנ-ליניע מאַטעריאַלן און ווענטילן ווי פֿאָלגט:

(1) אויב די גאַז ריינקייט איז גרעסער ווי אָדער גלייך צו 99.999% און דער טוי פונקט איז נידעריגער ווי -76°C, זאָל מען נוצן 00Cr17Ni12Mo2Ti נידעריק-קאַרבאָן ומבאַפלעקט שטאָל רער (316L) מיט עלעקטראָפּאָלירט אינעווייניקסטער וואַנט אָדער OCr18Ni9 ומבאַפלעקט שטאָל רער (304) מיט עלעקטראָפּאָלירט אינעווייניקסטער וואַנט. דער ווענטיל זאָל זיין אַ דיאַפֿראַגם ווענטיל אָדער בעלאָוז ווענטיל.

(2) אויב די גאַז ריינקייט איז גרעסער ווי אָדער גלייך צו 99.99% און דער טוי פונקט איז נידעריגער ווי -60°C, זאָל מען נוצן OCr18Ni9 ומבאַפלעקט שטאָל רער (304) מיט עלעקטראָפּאָלירט ינערלעך וואַנט. חוץ פֿאַר בעלאָוז ווענטילן וואָס זאָלן געניצט ווערן פֿאַר ברענענדיק גאַז רערן, זאָל מען נוצן קויל ווענטילן פֿאַר אַנדערע גאַז רערן.

(3) אויב דער טוי פונקט פון טרוקענער קאמפרעסטער לופט איז נידעריגער ווי -70°C, זאָל מען ניצן OCr18Ni9 נישט-ראסטיקער שטאָל רער (304) מיט אַ פּאָלירטער אינעווייניקסטער וואַנט. אויב דער טוי פונקט איז נידעריגער ווי -40℃, זאָל מען ניצן OCr18Ni9 נישט-ראסטיקער שטאָל רער (304) אָדער הייס-געטונקענע גאַלוואַניזירטע נאָטלאָזע שטאָל רער. דער ווענטיל זאָל זיין אַ בעלאָוז ווענטיל אָדער אַ קויל ווענטיל.

(4) דער ווענטיל מאַטעריאַל זאָל זיין קאָמפּאַטיבל מיטן מאַטעריאַל פֿון דער פֿאַרבינדונג רער.

לויט די רעקווייערמענץ פון ספּעסיפיקאַציעס און באַטייַטיק טעכנישע מיטלען, מיר באַטראַכטן דער הויפּט די פאלגענדע אַספּעקטן ווען מיר סעלעקטירן רערנ - ליניע מאַטעריאַלס:

(1) די לופט דורכדרינגלעכקייט פון רער מאַטעריאַלן זאָל זיין קליין. רערן פון פאַרשידענע מאַטעריאַלן האָבן פאַרשידענע לופט דורכדרינגלעכקייט. אויב רערן מיט גרעסערע לופט דורכדרינגלעכקייט ווערן אויסגעקליבן, קען מען נישט אַוועקנעמען פאַרפּעסטיקונג. נישט-ראַסטיק שטאָל רערן און קופּער רערן זענען בעסער אין פאַרהיטן די דורכדרינגונג און קעראָוזשאַן פון זויערשטאָף אין דער אַטמאָספער. אָבער, ווייל נישט-ראַסטיק שטאָל רערן זענען ווייניקער אַקטיוו ווי קופּער רערן, זענען קופּער רערן מער אַקטיוו אין דערלויבן נעץ אין דער אַטמאָספער צו דורכדרינגען אין זייערע אינעווייניקסטע ייבערפלאַכן. דעריבער, ווען מען קלייבט רערן פֿאַר הויך-ריינקייט גאַז רערן, זאָלן נישט-ראַסטיק שטאָל רערן זיין די ערשטע ברירה.

(2) די אינעווייניקסטע ייבערפלאַך פון די רער מאַטעריאַל איז אַדסאָרבירט און האט אַ קליין ווירקונג אויף אַנאַליזירן די גאַז. נאָך דעם ווי די ומבאַפלעקט שטאָל רער איז פּראַסעסט, וועט אַ געוויסע סומע גאַז בלייבן אין איר מעטאַל גיטער. ווען הויך-ריינקייט גאַז גייט דורך, וועט דער טייל פון די גאַז אַרייַן אין די לופט לויפן און פאַרשאַפן פאַרפּעסטיקונג. אין דער זעלביקער צייט, רעכט צו אַדסאָרפּטיאָן און אַנאַליז, וועט די מעטאַל אויף די אינעווייניקסטע ייבערפלאַך פון די רער אויך פּראָדוצירן אַ געוויסע סומע פון ​​פּודער, וואָס פאַרשאַפן פאַרפּעסטיקונג צו די הויך-ריינקייט גאַז. פֿאַר רער סיסטעמען מיט ריינקייט העכער 99.999% אָדער ppb מדרגה, זאָל 00Cr17Ni12Mo2Ti נידעריק קאַרבאָן ומבאַפלעקט שטאָל רער (316L) ווערן געניצט.

(3) די טראָגן קעגנשטעל פון ומבאַפלעקט שטאָל רערן איז בעסער ווי די פון קופּער רערן, און דער מעטאַל שטויב דזשענערייטאַד דורך לופט לויפן עראָוזיע איז לעפיערעך ווייניקער. פּראָדוקציע וואַרשטאַטן מיט העכער באדערפענישן פֿאַר ריינקייט קענען נוצן 00Cr17Ni12Mo2Ti נידעריק טשאַד ומבאַפלעקט שטאָל רערן (316L) אָדער OCr18Ni9 ומבאַפלעקט שטאָל רערן (304), קופּער רערן זאָלן נישט געניצט ווערן.

(4) פֿאַר רער סיסטעמען מיט גאַז ריינקייט העכער 99.999% אָדער ppb אָדער ppt לעוועלס, אָדער אין ריינע צימערן מיט לופט ריינקייט לעוועלס פון N1-N6 ספּעסיפיצירט אין די "ריין פאַבריק פּלאַן קאָד", אולטראַ-ריינע רערן אָדערEP אולטרא-ריינע רערןזאָל געניצט ווערן. ריין "ריינע רער מיט גאָר גלאַטער אינעווייניקסטער ייבערפלאַך".

(5) עטלעכע פון ​​די ספּעציעלע גאַז רער סיסטעמען וואָס ווערן גענוצט אין דעם פּראָדוקציע פּראָצעס זענען שטאַרק קעראָוסיוו גאַזן. די רערן אין די רער סיסטעמען מוזן נוצן קעראָוזשאַן-קעגנשטעליק ומבאַפלעקט שטאָל רערן ווי רערן. אַנדערש וועלן די רערן ווערן געשעדיגט צוליב קעראָוזשאַן. אויב קעראָוזשאַן פלעקן דערשייַנען אויף דער ייבערפלאַך, זאָל מען נישט נוצן געוויינטלעכע נאָטלאָזע שטאָל רערן אָדער גאַלוואַניזירטע געשוועיסט שטאָל רערן.

(6) אין פּרינציפּ, זאָלן אַלע גאַז רער פֿאַרבינדונגען זיין געשוועיסט. ווײַל שוועיסן פון גאַלוואַניזירטע שטאָל רערן וועט צעשטערן די גאַלוואַניזירטע שיכט, ווערן גאַלוואַניזירטע שטאָל רערן נישט גענוצט פֿאַר רערן אין ריינע צימערן.

נעמענדיג אין באַטראַכט די אויבנדערמאָנטע פאַקטאָרן, די גאַז רער און ווענטילן אויסגעקליבן אין דעם &7& פּראָיעקט זענען ווי פאלגנד:

די הויך-ריינקייט שטיקשטאָף (PN2) סיסטעם רערן זענען געמאכט פון 00Cr17Ni12Mo2Ti נידעריק-קאַרבאָן ומבאַפלעקט שטאָל רערן (316L) מיט עלעקטראָפּאָלישעד ינער ווענט, און די ווענטילן זענען געמאכט פון ומבאַפלעקט שטאָל בעלאָוז ווענטילן פון דעם זעלבן מאַטעריאַל.
די שטיקשטאָף (N2) סיסטעם רערן זענען געמאַכט פון 00Cr17Ni12Mo2Ti נידעריק-קאַרבאָן ומבאַפלעקט שטאָל רערן (316L) מיט עלעקטראָפּאָלירטע אינעווייניקסטע ווענט, און די ווענטילן זענען געמאַכט פון ומבאַפלעקט שטאָל בעלאָוז ווענטילן פון דעם זעלבן מאַטעריאַל.
די הויך-ריינקייט וואַסערשטאָף (PH2) סיסטעם רערן זענען געמאַכט פון 00Cr17Ni12Mo2Ti נידעריק-קאַרבאָן ומבאַפלעקט שטאָל רערן (316L) מיט עלעקטראָפּאָלישעד ינער ווענט, און די ווענטילן זענען געמאַכט פון ומבאַפלעקט שטאָל בעלאָוז ווענטילן פון דעם זעלבן מאַטעריאַל.
די הויך-ריינקייט זויערשטאָף (PO2) סיסטעם רערן זענען געמאַכט פון 00Cr17Ni12Mo2Ti נידעריק-קאַרבאָן ומבאַפלעקט שטאָל רערן (316L) מיט עלעקטראָ-פּאָלירט ינער ווענט, און די ווענטילן זענען געמאַכט פון ומבאַפלעקט שטאָל בעלאָוז ווענטילן פון דעם זעלבן מאַטעריאַל.
אַרגאָן (Ar) סיסטעם רערן זענען געמאַכט פון 00Cr17Ni12Mo2Ti נידעריק-קאַרבאָן ומבאַפלעקט שטאָל רערן (316L) מיט עלעקטראָפּאָלישעד ינער ווענט, און ומבאַפלעקט שטאָל בעלאָוז ווענטילן פון דעם זעלבן מאַטעריאַל ווערן גענוצט.
די העליום (He) סיסטעם רערן זענען געמאכט פון 00Cr17Ni12Mo2Ti נידעריק-קאַרבאָן ומבאַפלעקט שטאָל רערן (316L) מיט עלעקטראָפּאָלירטע אינעווייניקסטע ווענט, און די ווענטילן זענען געמאכט פון ומבאַפלעקט שטאָל בעלאָוז ווענטילן פון דעם זעלבן מאַטעריאַל.
די ריינע טרוקענע קאמפרעסט לופט (CDA) סיסטעם רערן זענען געמאכט פון OCr18Ni9 נישט-ראסטיקע שטאל רערן (304) מיט פאלירטע אינעווייניגסטע ווענט, און די ווענטילן זענען געמאכט פון נישט-ראסטיקע שטאל בעלאָוז ווענטילן פון דעם זעלבן מאַטעריאַל.
די אטעמען קאמפרעסט לופט (BA) סיסטעם רערן זענען געמאכט פון OCr18Ni9 ומבאַפלעקט שטאָל רערן (304) מיט פּאַלישט ינער ווענט, און די ווענטילן זענען געמאכט פון ומבאַפלעקט שטאָל קוגל ווענטילן פון דעם זעלבן מאַטעריאַל.
די פּראָצעס וואַקוום (PV) סיסטעם רערן זענען געמאַכט פון UPVC רערן, און די ווענטילן זענען געמאַכט פון וואַקוום באַטערפליי ווענטילן געמאַכט פון דעם זעלבן מאַטעריאַל.
די רייניקונג וואַקוום (HV) סיסטעם רערן זענען געמאכט פון UPVC רערן, און די ווענטילן זענען געמאכט פון וואַקוום באַטערפליי ווענטילן געמאכט פון דעם זעלבן מאַטעריאַל.
די רערן פון דער ספּעציעלער גאַז סיסטעם זענען אַלע געמאַכט פון 00Cr17Ni12Mo2Ti נידעריק-קאַרבן ומבאַפלעקט שטאָל רערן (316L) מיט עלעקטראָפּאָלירטע אינעווייניקסטע ווענט, און די ווענטילן זענען געמאַכט פון ומבאַפלעקט שטאָל בעלאָוז ווענטילן פון דעם זעלבן מאַטעריאַל.

3 קאנסטרוקציע און אינסטאלירונג פון רערן
3.1 סעקציע 8.3 פון די "ריין פאַבריק בנין פּלאַן קאָדעקס" באַשטימט די פאלגענדע פּראָוויזשאַנז פֿאַר פּייפּליין קאַנעקשאַנז:
(1) רער פֿאַרבינדונגען זאָלן זיין געשוועיסט, אָבער הייס-געטונקענע גאַלוואַניזירטע שטאָל רערן זאָלן זיין פֿאַרוויקלט. די פֿאַרזיגלונג מאַטעריאַל פֿון פֿאַרוויקלט פֿאַרבינדונגען זאָל זיין אין לויט מיט די רעקווירעמענץ פֿון אַרטיקל 8.3.3 פֿון דעם ספּעציפֿיקאַציע.
(2) נישט-ראסטיקע שטאָל רערן זאָלן זיין פארבונדן דורך אַרגאָן באָגן וועַלדינג און באַט וועַלדינג אָדער סאָקעט וועַלדינג, אָבער הויך-ריינקייט גאַז רערן זאָלן זיין פארבונדן דורך באַט וועַלדינג אָן מאַרקס אויף דער ינער וואַנט.
(3) די פֿאַרבינדונג צווישן רערן און עקוויפּמענט זאָל זיין אין לויט מיט די פֿאַרבינדונג רעקווייערמענץ פֿון דער עקוויפּמענט. ווען מען ניצט שלאַנג פֿאַרבינדונגען, זאָל מען ניצן מעטאַלענע שלאַנגען.
(4) די פֿאַרבינדונג צווישן רערן און ווענטילן זאָל זיין אין לויט מיט די פֿאָלגנדיקע רעגולאַציעס

① דער פארזיגלונג מאַטעריאַל וואָס פֿאַרבינדט הויך-ריינקייט גאַז רערנ-ליניעס און ווענטילן זאָל נוצן מעטאַל גאַסקאַץ אָדער טאָפּל פעראַלז לויט די באדערפענישן פון די פּראָדוקציע פּראָצעס און גאַז קעראַקטעריסטיקס.
②דער פארזיגלונג מאַטעריאַל ביי דער געווינדעט אָדער פלאַנדזש פֿאַרבינדונג זאָל זיין פּאָליטעטראַפלואָראָעטילען.
3.2 לויט די באדערפענישן פון ספעציפיקאציעס און באטרעפנדע טעכנישע מיטלען, זאל די פארבינדונג פון הויך-ריינהייט גאז רערן ווערן געשוועיסט וויפיל מעגליך. דירעקטע שטאם-שווייסן זאל מען אויסמיידן בעת'ן שווייסן. רער-ארבל אדער פארענדיגטע פארבינדונגען זאלן גענוצט ווערן. די רער-ארבל זאלן זיין געמאכט פון דעם זעלבן מאטעריאל און אינעווייניגסטע אייבערפלאך גלאט ווי די רערן. גלייך, בעת'ן שווייסן, כדי צו פארמיידן אקסידאציע פון ​​דעם שווייסן טייל, זאל מען אריינפירן ריין שוץ-גאז אין די שווייסן רער. פאר נישט-ראסטיקע שטאל רערן, זאל מען נוצן ארגאן בויגן-שווייסן, און ארגאן גאז פון דער זעלבער ריינהייט זאל מען אריינפירן אין די רער. מען מוז נוצן א געווינדעטע פארבינדונג אדער א געווינדעטע פארבינדונג. ביים פארבינדן פלאנדזשעס, זאל מען נוצן פערולס פאר געווינדעטע פארבינדונגען. אחוץ פאר זויערשטאף רערן און וואסערשטאף רערן, וועלכע זאלן נוצן מעטאלענע גאסקעטן, זאלן אנדערע רערן נוצן פאליטעטראפלואראטילען גאסקעטן. צולייגן א קליינע מאס סיליקאן גומע צו די גאסקעטן וועט אויך זיין עפעקטיוו. פארבעסערט דעם פארזיגלונג-עפעקט. ענלעכע מיטלען זאלן גענומען ווערן ווען מען מאכט פלאנדזש פארבינדונגען.
איידער די אינסטאַלאַציע אַרבעט הייבט זיך אָן, דאַרף מען מאַכן אַ דעטאַלירטע וויזועלע דורכקוק פון די רערן,פֿיטינגז, ווענטילן, א.א.וו. מוזן דורכגעפירט ווערן. די אינעווייניגסטע וואנט פון געווענליכע נישט-ראסטיקע שטאל רערן זאל מען איינמאכן פארן אינסטאלירן. די רערן, פיטינגס, ווענטילן, א.א.וו. פון זויערשטאף רערן זאלן שטרענג פארבאטן ווערן פון אויל, און זאלן שטרענג דעגרעיזד ווערן לויט די באטרעפנדע באדערפענישן פארן אינסטאלירן.
איידער די סיסטעם ווערט אינסטאלירט און גענומען אין באנוץ, זאל די טראנסמיסיע און פארטיילונג רער-ליניע סיסטעם ווערן אינגאנצן אויסגערייניקט מיטן צוגעשטעלטן הויך-ריינקייט גאז. דאס נישט נאר בלאָזט אַוועק די שטויב פּאַרטיקלען וואָס זענען אַקסאַדענטאַל אַרײַנגעפֿאַלן אין דער סיסטעם בעת דעם אינסטאַלאַציע פּראָצעס, נאָר שפּילט אויך אַ טרוקענע ראָלע אין דער רער-ליניע סיסטעם, אַוועקנעמענדיק אַ טייל פֿון דעם פֿײַכטקייט-האַלטיקן גאַז וואָס ווערט אַבזאָרבירט דורך דער רער וואַנט און אפילו דעם רער מאַטעריאַל.

4. רער דרוק טעסט און אקצעפטאַנס
(1) נאכדעם וואס די סיסטעם איז אינסטאלירט, זאל מען דורכפירן א 100% ראדיאגראפישע אינספעקציע פון ​​די רערן וואס טראנספארטירן שטארק טאקסישע פליסיקייטן אין ספעציעלע גאז רערן, און זייער קוואליטעט זאל נישט זיין נידעריגער ווי לעוועל 2. אנדערע רערן זאלן זיין אונטערטעניק צו א ראדיאגראפישע אינספעקציע פון ​​מוסטערונג, און די מוסטערונג אינספעקציע פראפארציע זאל נישט זיין ווייניגער ווי 5%, די קוואליטעט זאל נישט זיין נידעריגער ווי גראד III.
(2) נאכדעם וואס מען איז דורכגעגאנגען די נישט-דעסטרוקטיווע אינספעקציע, זאל מען דורכפירן א דרוק טעסט. כדי צו זיכער מאכן די טריקנקייט און ריינקייט פון די רערן סיסטעם, טאר מען נישט דורכפירן קיין הידראולישע דרוק טעסט, נאר מען זאל ניצן א פּנעוומאַטישע דרוק טעסט. דער לופט דרוק טעסט זאל דורכגעפירט ווערן מיט שטיקשטאף אדער קאמפרעסטע לופט וואס פאסט צום ריינקייט לעוועל פון דעם ריינע צימער. דער טעסט דרוק פון דער רער-ליניע זאל זיין 1.15 מאל דער דיזיין דרוק, און דער טעסט דרוק פון דער וואקיום רער-ליניע זאל זיין 0.2MPa. בעת דעם טעסט, זאל מען ביסלעכווייז און לאנגזאם פארגרעסערן דעם דרוק. ווען דער דרוק שטייגט צו 50% פון דעם טעסט דרוק, אויב מען טרעפט נישט קיין אומנארמאלקייט אדער ליקאַדזש, פארגרעסערט ווייטער דעם דרוק שריט ביי שריט מיט 10% פון דעם טעסט דרוק, און סטאביליזירט דעם דרוק פאר 3 מינוט אויף יעדן לעוועל ביז דער טעסט דרוק. סטאביליזירט דעם דרוק פאר 10 מינוט, און דערנאך פארקלענערט דעם דרוק צום דיזיין דרוק. די דרוק אפשטעלן צייט זאל באשטימט ווערן לויט די באדערפענישן פון ליקאַדזש דעטעקציע. דער שאום אגענט איז קוואַליפיצירט אויב עס איז נישטא קיין ליקאַדזש.
(3) נאכדעם וואס די וואקיום סיסטעם גייט דורכן דרוק טעסט, זאל זי אויך דורכפירן א 24-שעה וואקיום גראד טעסט לויט די פלאן דאקומענטן, און די דרוק ראטע זאל נישט זיין גרעסער ווי 5%.
(4) ליקאַדזש טעסט. פֿאַר ppb און ppt גראַד רערנ-ליניע סיסטעמען, לויט די באַטייַטיק ספּעציפֿיקאַציעס, זאָל קיין ליקאַדזש נישט באַטראַכט ווערן ווי קוואַליפֿיצירט, אָבער דער ליקאַדזש מאָס טעסט ווערט גענוצט בעת פּלאַנירונג, דאָס הייסט, דער ליקאַדזש מאָס טעסט ווערט דורכגעפֿירט נאָך דעם לופֿט-געדיכטקייט טעסט. דער דרוק איז דער אַרבעט דרוק, און דער דרוק ווערט אָפּגעשטעלט פֿאַר 24 שעה. די דורכשניטלעכע שעהלעכע ליקאַדזש איז ווייניקער ווי אָדער גלייך צו 50ppm ווי קוואַליפֿיצירט. די קאַלקולאַציע פֿון ליקאַדזש איז ווי פֿאָלגט:
א=(1-P2T1/P1T2)*100/T
אין דער פאָרמולע:
א-שעה ליקאַדזש (%)
P1 - אבסאלוטער דרוק ביים אנהייב פונעם טעסט (Pa)
P2 - אבסאלוטער דרוק ביים סוף פונעם טעסט (Pa)
T1 - אבסאלוטע טעמפעראטור ביים אנהייב פונעם טעסט (K)
ט2 - אַבסאָלוטע טעמפּעראַטור ביים סוף פונעם טעסט (ק)